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本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" width="255" height="120" />DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
在这个过程中,一些企业通过不断降低产品价格来吸引消费者,导致整个行业的利润空间被压缩。为了降低成本,一些企业可能会采用劣质材料或缩短生产工艺,从而影响产品质量。此外,过度的价格竞争也使得企业在研发和设计方面的投入减少,限制了行业的创新和发展。
另一方面,消费者对于家具的需求也在不断变化。随着生活水平的提高,人们对于家具的品质、设计和环保性能等方面提出了更高的要求。然而,一些企业在面对市场压力时,往往忽视了消费者的需求,只注重价格竞争,导致产品同质化严重,难以满足消费者的个性化需求。
为了应对家具行业的内卷现象,企业需要从多个方面入手。首先,企业应该注重产品质量和品牌建设,通过提供高品质的产品和优质的服务,树立良好的品牌形象,赢得消费者的信任和忠诚度。其次,企业需要加强创新能力,不断推出符合市场需求的新产品和设计,以提高产品的附加值和竞争力。此外,企业还可以通过优化供应链管理、提高生产效率等方式降低成本,而不是单纯依靠价格竞争。
对于消费者而言,在选择家具时,不应仅仅关注价格,而要更加注重产品的质量、环保性能和设计风格等方面。同时,消费者也可以通过选择具有品牌优势和良好口碑的企业产品,来获得更好的购买体验和售后服务。
总之,家具行业卷起来了既是一种挑战,也是一个机遇。只有通过企业自身的努力和创新,以及消费者的理性选择,才能推动家具行业的健康发展,为人们提供更优质、更具个性化的家具产品。
" width="255" height="120" />家具行业的内卷现象 顺德家具网-收治病例的亞洲大學附屬醫院大腸直腸外科主治醫師傅軍毓表示,尾腸囊腫屬於先天性病灶,好發於中年女性,典型位置多在直腸與薦骨之間。由於女性骨盆腔空間狹小、構造複雜,當腫瘤隨時間增大後,往往會壓迫周邊器官,雖然多數為良性腫瘤,但若體積過大,仍有惡化風險,所以臨床上多建議手術切除,避免感染或惡化風險。
傅軍毓醫師指出,以該名婦人為例,腫瘤已緊貼直腸壁,若持續增大,可能壓迫周邊神經與泌尿生殖器官,甚至存在影響腸道功能與惡性變化風險,因此建議婦人進行手術治療。
考量婦人的腫瘤位置深、與直腸緊貼,手術需兼顧完整切除與神經保護,最後醫療團隊是採機械手臂輔助手術完成。傅軍毓醫師解釋,骨盆腔內部解剖構造極其複雜,周圍布滿重要血管、泌尿系統以及支配排尿與性功能的神經幹。傳統手術或一般腹腔鏡在狹窄的骨盆底操作時,器械靈活度受限,這次是採機械手臂輔助手術,僅在腹部留下數個小傷口,順利將腫瘤完整剝離並保留直腸。但他提醒,任何手術都需依個別病況評估,並非所有患者都適用。
傅軍毓醫師提醒,許多骨盆腔腫瘤早期缺乏症狀,民眾若有長期排便習慣改變、骨盆悶脹或反覆感染等情形,應及早就醫檢查。隨著影像與手術技術進步,類似治療的選項更多元,但每種方式都有其限制與風險,患者術前務必要與醫師充分溝通,了解利弊與預期恢復情況,才能做出最適合自身的治療。
(常春月刊/編輯部整理、文章授權提供/健康醫療網、圖片來源:Dreamstime/典匠影像)
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(资料图片仅供参考)为了守护好这片高海拔地区的“绿意”
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统筹:刘佩、洛登
作者:洛卓嘉措、黄智琪、庄云凯、索朗罗布、索朗扎西
新华社音视频部
新华社西藏分社 联合制作
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" width="255" height="120" />“高冷”经济看发展|绿意攀高!海拔4000米之上的绿色革命
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回顾过往,中软国际与华为在金融领域的合作根基深厚。2025年2月,在华为上海政企合作伙伴大会上,中软国际荣获“2024行业优秀合作伙伴奖”,双方在金融自主创新领域联手打造了多个标杆项目,充分验证了中软国际在金融信创集成领域的强大交付能力。过去一年,双方联合拓展的AI解决方案业务取得突破性进展。中软国际与华为联手为某全国性股份制银行打造的AI集成项目聚焦AI落地中的算力挑战,成功构建千卡级算力集群,通过分布式训练与推理技术突破算力瓶颈,实现了算力自主创新与效能的双重提升。合作不仅解决了大模型训练与实时业务对低时延、高可靠性的需求,更沉淀了从十亿到千亿级参数模型的调优能力,为金融行业国产算力应用提供了可复制的标杆路径。
此次荣获“亿元俱乐部伙伴奖”,是对中软国际在华为生态中业务规模与价值贡献的直接肯定;而“优秀大模型合作伙伴奖”则凸显了双方在AI技术与金融场景深度融合上的引领地位。这些成绩的取得,得益于双方在战略层面始终保持同频共振,在产品、解决方案与市场拓展上形成合力。
未来,中软国际将继续深化与华为上海政企的战略协同,并在更多区域与华为展开深度协同联拓,充分发挥金融行业深耕经验与全栈AI服务能力,聚焦大模型落地、国产算力生态构建等关键领域,携手为客户创造更大价值,共同推动金融行业数智化转型迈向新高度。
" width="255" height="120" />中软国际斩获华为2025亿元俱乐部伙伴奖与优秀大模型合作伙伴奖8月15日,作为“轻时尚家电开创者”的统帅电器与“家生活”的国美牵手,致意为年轻人搭建一幅时尚的生活场景。统帅电器全套家电登陆国美的同时,还将“轻时尚 悠生活”的品牌理念与年轻人生活场景相结合,通过打造“线上+线下”两种时尚场景化体验方式,让用户近距离感受到“时尚家生活”,享受更加轻松、愉悦的生活方式。
此外,通过与国美的合作,统帅电器实现了国美、苏宁、天猫、京东在内的全电商布局,拓宽线上渠道的同时,也大幅优化了年轻人的购物体验。
代入生活场景,加深情感共鸣
对于年轻人来说,家电风格统一、功能操作便利,简约、时尚都是生活场景中必不可少的元素。在活动现场中,由专业设计师设计,空调、冰箱、洗衣机、热水器、厨电等全套产品组建成了厨房、客厅、卧室等多元化场景,无疑正符合当下年轻人的口味。无论是统帅冰箱的中字格局设计、统帅洗衣机的超大视窗还是统帅空调的圆润机身线条,都能让年轻人感受到简约的家居氛围。
通过生活场景的代入,让年轻用户有了更多的情感共鸣,无疑对拉近品牌与用户之间的距离、加深用户对品牌的认知有更多的帮助,这也是对传统家用电器销售路径的另一种改变。
拓展场景体验,打造用户口碑
其实在国美搭建的家生活时尚平台仅仅是统帅电器尝试构建时尚生活方式的一环,此前,统帅电器通过在临沂打造国内首个千平家电场景化体验中心、在厦门打造建材商圈时尚体验店等方式,为年轻用户提供了真实的场景化创意体验。同时,统帅电器还将这种人性化的场景体验搬到线上,让消费者在网购家电的时候可以很直观的看到统帅所搭建的生活场景,将自身变成了一个为年轻人创造新奇体验的生活平台。
此外,统帅电器还通过在公益圈、高校圈、旅行圈、时尚圈、国际圈等领域深耕,通过让用户亲身体验,以此来提高品牌情感价值、打造用户口碑。
场景体验式宣传效果显著,统帅电器全品类业绩正增长
在当下家电行业经济不断承压的情况下,统帅电器正凭借其场景化体验方式进一步加速业绩增长。
根据公布的数据显示,统帅电器2018年1-7月业绩增幅35%,连续7个季度增幅超40%,实现全品类业绩正增长。业内人士指出,在品牌敏感度上,年轻人对于时尚、品质的需求已经打破了行业的传统认知。而统帅电器之所以能取得35%的业绩增幅,与其坚持打造场景化的体验方式有关,通过在线上和线下打造年轻人生活场景,统帅电器与年轻用户之间产生了情感共鸣,年轻人对于统帅电器的品牌认知度进一步提升,统帅电器则通过交互吃透了年轻人的想法,为后续产品的迭代更新拓展了新思路。
GENMA大港机业务在2026年延续良好发展势头,近日与国内某全球知名码头运营商再次达成合作,为其部署于两个不同码头的共12台RTG提供L4全自动化升级改造服务。
此前,GENMA已为该客户成功完成了数十台RTG的全自动化改造工作,设备稳定高效的运行表现与生产力提升,赢得了客户信任。此次新一轮的合作,也充分体现了市场对GENMA在港口装备自动化、智能化升级领域领先的技术实力、成熟的项目经验以及卓越服务质量的高度认可。
GENMA拥有丰富的自动化技术经验与成熟的服务体系,能够根据客户不同场景和需求,量身定制高效可靠的自动化解决方案。GENMA将继续发挥技术创新优势,推动港口装备向智能化、绿色化方向持续发展,与全球港口客户携手共进,助力港口行业实现高质量转型升级。
*信息来源于GENMA
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网友纷纷感慨:“今夕是何年” “五月天真的有时光机”!
阿信去年曾在直播时戏言,如果哪天F4复出,五月天就只能转战跳舞。
F4上一次正式同台是在2013年江苏春晚。
据三湘都市报,在唱片公司相信音乐牵线下,4人已就合体演出达成共识,将以25周年为契机,计划于2026年启动巡回演唱会,预估票房超十亿元新台币(约合人民币2.3亿元)。
" width="255" height="120" />F4重聚 现身五月天演唱会合唱《流星雨》